"atomic layer deposition"の研究動向・論文数推移・被引用分析（2026-05-01時点）
※本記事のデータは2026-05-01時点のOpenAlex APIデータを基に集計しています。
"atomic layer deposition"の論文数は過去10年間で年平均+0.75%で増加しています。
本記事では、論文件数の推移と被引用上位20論文の傾向を整理します。
論文数推移（過去10年）
被引用数上位20論文（海外）
- Atomic Layer Deposition: An Overview（出版年:2009, 被引用数:5613, 出版社:Chemical Reviews）
https://doi.org/https://doi.org/10.1021/cr900056b - Surface chemistry of atomic layer deposition: A case study for the trimethylaluminum/water process（出版年:2005, 被引用数:2561, 出版社:Journal of Applied Physics）
https://doi.org/https://doi.org/10.1063/1.1940727 - A brief review of atomic layer deposition: from fundamentals to applications（出版年:2014, 被引用数:1910, 出版社:Materials Today）
https://doi.org/https://doi.org/10.1016/j.mattod.2014.04.026 - Crystallinity of inorganic films grown by atomic layer deposition: Overview and general trends（出版年:2013, 被引用数:1398, 出版社:Journal of Applied Physics）
https://doi.org/https://doi.org/10.1063/1.4757907 - Low-Temperature Al2O3 Atomic Layer Deposition（出版年:2004, 被引用数:1357, 出版社:Chemistry of Materials）
https://doi.org/https://doi.org/10.1021/cm0304546 - Atomic layer deposition (ALD): from precursors to thin film structures（出版年:2002, 被引用数:1280, 出版社:Thin Solid Films）
https://doi.org/https://doi.org/10.1016/s0040-6090(02)00117-7 - Resistive switching mechanism of TiO2 thin films grown by atomic-layer deposition（出版年:2005, 被引用数:1138, 出版社:Journal of Applied Physics）
https://doi.org/https://doi.org/10.1063/1.2001146 - Atomic Layer Deposition Chemistry: Recent Developments and Future Challenges（出版年:2003, 被引用数:1082, 出版社:Angewandte Chemie International Edition）
https://doi.org/https://doi.org/10.1002/anie.200301652 - Single-Atom Pd1/Graphene Catalyst Achieved by Atomic Layer Deposition: Remarkable Performance in Selective Hydrogenation of 1,3-Butadiene（出版年:2015, 被引用数:1057, 出版社:Journal of the American Chemical Society）
https://doi.org/https://doi.org/10.1021/jacs.5b06485 - Vapor-Phase Metalation by Atomic Layer Deposition in a Metal–Organic Framework（出版年:2013, 被引用数:983, 出版社:Journal of the American Chemical Society）
https://doi.org/https://doi.org/10.1021/ja4050828 - Single-atom Catalysis Using Pt/Graphene Achieved through Atomic Layer Deposition（出版年:2013, 被引用数:905, 出版社:Scientific Reports）
https://doi.org/https://doi.org/10.1038/srep01775 - Synthesis and Surface Engineering of Complex Nanostructures by Atomic Layer Deposition（出版年:2007, 被引用数:874, 出版社:Advanced Materials）
https://doi.org/https://doi.org/10.1002/adma.200700079 - Plasma-Assisted Atomic Layer Deposition: Basics, Opportunities, and Challenges（出版年:2011, 被引用数:871, 出版社:Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films）
https://doi.org/https://doi.org/10.1116/1.3609974 - Coking- and Sintering-Resistant Palladium Catalysts Achieved Through Atomic Layer Deposition（出版年:2012, 被引用数:846, 出版社:Science）
https://doi.org/https://doi.org/10.1126/science.1212906 - Next-Generation Lithium Metal Anode Engineering via Atomic Layer Deposition（出版年:2015, 被引用数:802, 出版社:ACS Nano）
https://doi.org/https://doi.org/10.1021/acsnano.5b02166 - Microwave Absorption Properties of Carbon Nanocoils Coated with Highly Controlled Magnetic Materials by Atomic Layer Deposition（出版年:2012, 被引用数:793, 出版社:ACS Nano）
https://doi.org/https://doi.org/10.1021/nn304630h - Catalyst Design with Atomic Layer Deposition（出版年:2015, 被引用数:768, 出版社:ACS Catalysis）
https://doi.org/https://doi.org/10.1021/cs501862h - Electrical characterization of thin Al2O3 films grown by atomic layer deposition on silicon and various metal substrates（出版年:2002, 被引用数:722, 出版社:Thin Solid Films）
https://doi.org/https://doi.org/10.1016/s0040-6090(02)00438-8 - Atomic Layer Deposition of Metal Oxides on Pristine and Functionalized Graphene（出版年:2008, 被引用数:691, 出版社:Journal of the American Chemical Society）
https://doi.org/https://doi.org/10.1021/ja8023059 - Atomic layer deposition of transition metals（出版年:2003, 被引用数:655, 出版社:Nature Materials）
https://doi.org/https://doi.org/10.1038/nmat1000
