2026-06-13時点でのJSRの海外論文をOpenAlexで解析し、研究キーワードランキングを作成しました。海外論文タイトルをもとに、研究開発・注目技術・材料分野を可視化しています。
キーワード抽出にはTF-IDF解析を使用しています。論文タイトルの中から、その企業で特に多く使われている特徴的な単語を抽出しています。
海外論文ワードクラウド

海外論文キーワードランキング
スコアはTF-IDF値を合計したもので、値が高いほど、その企業の論文内で特徴的に多く使われているキーワードを示します。
- 第1位:resist(スコア:9.78)
- 第2位:lithography(スコア:6.72)
- 第3位:photoresists(スコア:5.38)
- 第4位:immersion(スコア:4.58)
- 第5位:patients(スコア:4.42)
- 第6位:design(スコア:4.39)
- 第7位:resists(スコア:4.14)
- 第8位:euv resist(スコア:4.12)
- 第9位:metal(スコア:3.65)
- 第10位:immersion lithography(スコア:3.2)
- 第11位:half(スコア:3.03)
- 第12位:half pitch(スコア:3.03)
- 第13位:pitch(スコア:3.03)
- 第14位:patterning(スコア:3.0)
- 第15位:cancer(スコア:2.91)
- 第16位:euv lithography(スコア:2.77)
- 第17位:photoresist(スコア:2.69)
- 第18位:hardmask(スコア:2.68)
- 第19位:resist half(スコア:2.54)
- 第20位:optimization(スコア:2.46)
- 第21位:machine(スコア:2.4)
- 第22位:arf(スコア:2.38)
- 第23位:node(スコア:2.3)
- 第24位:conference(スコア:2.17)
- 第25位:index(スコア:2.16)
- 第26位:arf immersion(スコア:2.13)
- 第27位:tone(スコア:2.04)
- 第28位:generation(スコア:1.98)
- 第29位:rubber(スコア:1.91)
- 第30位:highly(スコア:1.91)
研究キーワード分析
JSRの海外論文では、resist、lithography、photoresistsなどのキーワードが多く確認されました。特にresist関連の研究テーマが多く、重点的に研究開発されている技術分野の可能性があります。