photoresistは近年、海外論文でも研究が行われている技術テーマです。特に高分子・半導体・コーティング分野で関連論文が確認されています。
本記事では、OpenAlex APIを用いて、photoresistの論文数推移、被引用数の多い代表論文、研究トレンドを整理しました。
過去10年間での研究動向や、現在どの程度注目されているテーマなのかを俯瞰的に確認できます。2025年の論文数は238件で、photoresistは継続的に研究されている分野です。
photoresistの論文数推移
photoresist関連論文の年間発表件数推移を整理しました。研究拡大状況を確認できます。
photoresistの関連企業・大学（日本）
OpenAlex論文データをもとに、photoresist関連研究で確認された日本の企業・大学を整理しました。
関連企業
- NTT (Japan)（関連論文数:7）
- NEC (Japan)（関連論文数:3）
- RIKEN（関連論文数:1）
- National Institute of Advanced Industrial Science and Technology（関連論文数:1）
関連大学
- Hokkaido University（関連論文数:8）
- Yamagata University（関連論文数:5）
- Tottori University（関連論文数:5）
- The University of Tokyo（関連論文数:3）
- Wakayama University（関連論文数:1）
- The University of Osaka（関連論文数:1）
- Kanazawa Institute of Technology（関連論文数:1）
- Tokushima University（関連論文数:1）
photoresistの被引用数上位論文
海外論文の中から、被引用数の多い代表論文を整理しました。
- SU-8: a photoresist for high-aspect-ratio and 3D submicron lithography（出版年:2007, 被引用数:810, 出版社:Journal of Micromechanics and Microengineering）
- High-aspect-ratio, ultrathick, negative-tone near-UV photoresist and its applications for MEMS（出版年:1998, 被引用数:573, 出版社:Sensors and Actuators A Physical）
- Characterization of positive photoresist（出版年:1975, 被引用数:424, 出版社:IEEE Transactions on Electron Devices）
- Micromachining applications of a high resolution ultrathick photoresist（出版年:1995, 被引用数:381, 出版社:Journal of Vacuum Science & Technology B Microelectronics and Nanometer Structures Processing Measurement and Phenomena）
- Influence of processing conditions on the thermal and mechanical properties of SU8 negative photoresist coatings（出版年:2002, 被引用数:352, 出版社:Journal of Micromechanics and Microengineering）
- Negative photoresists for optical lithography（出版年:1997, 被引用数:341, 出版社:IBM Journal of Research and Development）
- Photoresist-Derived Carbon for Microelectromechanical Systems and Electrochemical Applications（出版年:2000, 被引用数:329, 出版社:Journal of The Electrochemical Society）
- Two-photon lithography of nanorods in SU-8 photoresist（出版年:2005, 被引用数:309, 出版社:Nanotechnology）
- A new fabrication process for ultra-thick microfluidic microstructures utilizing SU-8 photoresist（出版年:2002, 被引用数:308, 出版社:Journal of Micromechanics and Microengineering）
- Light-directed synthesis of high-density oligonucleotide arrays using semiconductor photoresists（出版年:1996, 被引用数:248, 出版社:Proceedings of the National Academy of Sciences）
- The manufacture of microlenses by melting photoresist（出版年:1990, 被引用数:243, 出版社:Measurement Science and Technology）
- Optical cross-talk reduction in a quantum-dot-based full-color micro-light-emitting-diode display by a lithographic-fabricated photoresist mold（出版年:2017, 被引用数:237, 出版社:Photonics Research）
- Fabrication of continuous-relief micro-optical elements by direct laser writing in photoresists（出版年:1994, 被引用数:235, 出版社:Optical Engineering）
- Photopatterning of Self-Assembled Alkanethiolate Monolayers on Gold: A Simple Monolayer Photoresist Utilizing Aqueous Chemistry（出版年:1994, 被引用数:233, 出版社:Langmuir）
- Modeling projection printing of positive photoresists（出版年:1975, 被引用数:232, 出版社:IEEE Transactions on Electron Devices）
- Polymerization optimization of SU-8 photoresist and its applications in microfluidic systems and MEMS（出版年:2000, 被引用数:225, 出版社:Journal of Micromechanics and Microengineering）
- Simple and Versatile Methods To Integrate Directed Self-Assembly with Optical Lithography Using a Polarity-Switched Photoresist（出版年:2010, 被引用数:216, 出版社:ACS Nano）
- Three‐Dimensional SiCN Ceramic Microstructures via Nano‐Stereolithography of Inorganic Polymer Photoresists（出版年:2006, 被引用数:209, 出版社:Advanced Functional Materials）
- Trends in photoresist materials for extreme ultraviolet lithography: A review（出版年:2023, 被引用数:201, 出版社:Materials Today）
- Review of recent advances in inorganic photoresists（出版年:2020, 被引用数:193, 出版社:RSC Advances）
関連記事
※本記事のデータは2026-08-20時点のOpenAlex APIデータを基に集計しています。
